内部检查时使用从低倍率到SEM的数种显微镜

内部检查时使用从低倍率到SEM的数种显微镜
一般程序
    在失效确认程序中，透明试件的内部检查限于报告的内部缺陷。例如，关于“在试件的内部看到游离的微片”或"试"件动作但接触弹簧歪斜”等说明即是。此时，内部检查首先从确认报告开始。
    透明试件的内部检查与一般非破坏程序相同，特别是最初分析的内部检查，不只是验证所报告的失效，而且要从鉴别失效模式和机理开始。
    其后，透明试件的一切内部检查按照半破坏或破坏的程序进行，与不透明试件的内部检查和目的相同。    特别应检查的项目为:    ①结构设计及使用的材料。    ②污染引起的腐蚀或枯附物。    ③细裂纹或裂缝。    ④电镀不完全。    ⑤相互接触及接合不良。    ⑥热或电气损伤。    ⑦静电引起的损伤。
    在内部检查时使用从低倍率到SEM的数种显微镜。检查顺序决定于使用的装置和器具，例如，试件内部构成整体的光学检查不是一开始就用SEM，而是分析段地向高倍率进展。全部重要信息都要进行显微照像。