气体质谱仪用于金属封装晶体管内气体环境的分析

气体质谱仪用于金属封装晶体管内气体环境的分析

    定性分析  红外分光光度测量主要用来识别未知化合物，实验光谱要与纯化合物的光谱进行比较，有很多光谱已经发表了J往往只要观察实验光谱就可直接进行识别。


    质谱仪是定性和定量分析的有用工具。同红外光谱大致相同，碎片图表示分子的“指纹印”，并帮助识别和收集各种结构和键能的资料。试样必须是气体，或者是能挥发的物质。通常，多元混合物易于分析。

    应用实例  气体质谱仪首先用于金属封装晶体管内气体环境特性的分析。金属封装容量小，只有少量气体能作分析。以器件为试样，放在有针孔眼的真空夹具内，在真空下打开器件，然后将来自密封装置的气体向试样室扩大。  在不同期间，器件障碍与过多的氢、碳氢化合物以及水蒸气都有关系，有时出现不明显的杂质，例如有机残渣或没有完全清洗的电镀零件。如果气体本身污染了，或者是晶体管内其它污源间接引起了污染，则必须连同其它已知数据检测气体的污染。

    火花源质谱仪
    火花源质谱仪用于痕量杂质的固体分析，也用于部分试样内部及其表面的分析、通常可作为痕量杂质的一般测量工具。

    原理  将试样放在试样室，试样是由两块用作分析的材料组成，两块材料之间留有缝隙。在整个仪器中需要真空。高压电火花通过缝隙放电，腐蚀试样，使之产生离子。离子通过缝隙进行加速，并进入电区。  具有一定能量的离子经过缝隙离开，U区，而能址太多或太少的离子则撞击室壁而消耗掉了。  离予以一定的质，荷比经过电区进入磁场，而磁场必须适应半径增大的圆形