表面层粗糙度测量SEM电子显微镜有较大的景深、立体感强

表面层粗糙度测量中光学显微镜的设计原理
电子显微镜与普通光学显微镜的比较
  借助于光波，人们把肉眼的视力提高了近500倍，如果借助于波长更短的电子，可将人的视力提高到80万倍，因此本质上光学显微镜和电子显微镜的原理的类似之处，它们除了放大倍数的差别外，凡要是图像的景深不同，SEM有非常大的景深、立体感强。  样品的影响包括表面层的非均匀性、表面层粗糙度等。  分析方法，一般通过峰位移可确定原子所处的化学环境，通过峰面积可计算在该价态下原子的相对含量。
  样品  样品一般是一平方厘米见方的固体或可载于固体上的其他非挥发性物质，用双面胶固定在样品台上，样品应是地真空系统中无挥发性物质，对于进行体分析的样品，楞通过逐层刻蚀的方法进行分析或通过变角进行研究。