光学测量光切显微镜测量来表面粗糙度的方法

光学测量光切显微镜测量来表面粗糙度的方法
  在光学测量法中着重利用干涉条纹的方法和光切法，利用干涉条纹的方法以比光束干涉和往返干涉方式的干涉条纹的间隔作标准，根据干涉条纹就可以测量表面的凹凸不平度，用触针法其触针尖的半径为2-10μm，因此，对特别小的不平度也有测定限度，对测定如此小的凹凸不平度用干涉条纹法比较适合。
  空间电容法，是将被测表面上的凹凸不平及其上面所放的平面之间产生的空间容积作为静电电容进行测量来表面粗糙度的方法，感应电介质与被测表面手凹凸不平度间隙平均值，即所谓用中心线深度表示表面粗糙度的方法，当被测物体是金属一类良好导体时，采用电容法，可以直接进行测量，如是绝缘体时，则要蒸镀一层金属，才进行测量。