表面形貌图象小晶粒构成的多晶体试样金相显微镜

表面形貌图象小晶粒构成的多晶体试样金相显微镜

电子束器件测试  电子束探针能用来进行半导体元件的某些特殊电学测试，并且从原理上来说优越于机械探针，因为它可使：阢械损伤减至最小，而且探针的大小可以做得非常小．它的一个缺点是电子束能裂解试样上面气氛中的真空泵油，使得在半导体：琵面沉积了一层薄的碳膜(这样电子束信号的诠释可能是困难的因此不能获得足够多的数据来全面地表征元件的性能．
    可以使用两种不同的操作方式．第一种是被测元件通过常规的接触与互连方法被偏置，而元件表面任何选定点的二次电子发射被用来估计该点的相对电压．第二种是在元件上只作一个外连接线，而将电子束本身作为另一个连接线．然后从固定的接触外连上测量电流．当检测非常复杂的电路时，第一种方式是特别吸引人的，因为它能从电压衬度发现失效点电子衍射
    当一电子束穿过任一晶体的周期性晶格时，将会被衍射．如果将透射电子显微镜的光学布置稍作改变，就能把试样的衍射花样(而不是表面形貌图象)投影在荧光屏上．如相对于光束的截面积而言，晶体的尺寸足够大，则将产生衍射斑点并可用晶体结构来诠释．对于近似完整的晶体，还能看到菊池线(Kikuohi lines)；有时可用它们来测定晶体取向．由很多尺寸比光束面积小得多的，并且无规则取向的小晶粒构成的多晶体试样，将产生圆环状的衍射花样．