非球面光学元件测量轮廓检测显微镜

非球面光学元件测量轮廓检测显微镜
  非球面光学元件的特有容差   表面形状  公差指定了实际加工面形与设计或者理论面形的最大允许偏差。
  旋转对称偏差受所允许的旋转对称不规则性限制，而非旋转对称偏差同样受限于设计允许的整体不规则性。
    从测量轮廓可以看出，大梯度的局部偏差受限于局部法线与理论法线的最大允许角度偏差，这一偏差称作倾角误差(或表面正切误差)。    在光学元件图纸中标注这些面形公差的方法。标准中也定义了公差指标的单位和有关测量光学元件的信息，特别是干涉测量法。