电子探针(电子光学和X射线衔射仪)的分析原理

电子探针(电子光学和X射线衔射仪)的分析原理
  使用极细的电子光束射入样品的表面，因而能够激发出  样品里面所含元素的X射线，分析对比其X射线的波长就  可以知道元素的类别了；并且分析反射出的特征X射线  的强度就可以知道该元素的含量有多少了；电子探针  显微镜的外面的镜筒部分的构造和电子扫描显微镜差不多  只不过光学部分使用了X射线；用来检测样品的X射线的  特征波长，电子探针这些特点可以用被用来观察样品微观  区域的化学成分分析；
它主要通过二次电子和背射电子结合来观察样品的微观区域的形貌；
同时对样品进行X特征分析，得出样品的元素微观区域的元素含量和元素种类；
什么是背射电子呢？背射电子是指，入射电子和样品相互作用之后再样品逸出的一种高能电子；它的能量基本上都接近于入射的电子能量；使用背射电子可用来观察非进服饰的抛光表面的元素分布以及相的分布；并也可以进行元素的鉴定分类和所含有量的定量分析