测量覆层厚度试样制备金相分析图像显微镜

测量覆层厚度试样制备金相分析图像显微镜
利用双光束干涉显微镜测量不透明覆层厚度
    测量不透明覆层厚度时必须采用破坏的方法，为此在测量之前要进行试样的制备。    试样制备是将待测件被测处的覆层去掉一部分，露出基体和形成台阶．对于某些覆层可选用适当的退膜液退掉一部分，而不退掉的覆层可用一圈胶带粘贴上而加以保护。为了得到多光束干涉条纹，一般应满足下列条件：    (1)干涉面应喷涂一层高反射系数的薄膜，而且膜的吸收系数很小；      (2)薄膜喷涂层如银或铝的厚度应十分均匀；    (3)采用单色光源；    (4)两反射面间的距离越小越好，最好只是单色光源波长的几倍；    (5)入射光波应为一平行光束；    (6)入射光束应尽可能垂直于试样表面．
线性偏振光以一定角度照射有覆层的零件表面，在光通过覆层表面以及覆层与基体界面会产生反射，并将产生椭圆偏振光。根据偏振光的种类和偏振程度，通过计算可确定覆层厚度。    偏振光法测量覆层厚度通常是在由起偏器、补偿器、检偏器等偏振元件制成的偏振光显微镜上进行。偏振光显微镜是利用尼科尔棱镜来产生偏振光，称之为起偏振片或起偏器。在起偏器的后面插入一个同样的起偏振片，它用来检定起偏器所形成的偏振光，称之为检偏器或分析器。