激光加工高质量的加工零件轮廓测量显微镜

激光加工高质量的加工零件轮廓测量显微镜
光束特性传感器
　　    在激光加工过程中，光束的质量在实现高质量的加工中扮演了重要的角色。为此，正在开发用于监测光束功率分布的传感器。一个普通的方法是用一个带有针孔的杆扫描光束。通过应用一个反射镜，辐射被反射到传感器。应用此系统，通过光束的强度分布可被测量到。另一个系统，需要在光束路径上安装一个细线栅格，从单根线的温度变化，可重新构造一个完全的光束功率分布。聚焦位置和气体压力
　　    在工件和聚焦头部的偏移经常引起过程误差。尤其是在切削应用中，在原材料内部保持聚焦很重要。为了解决这个问题，电容传感器可以测量聚焦头到工件的距离，并且通过应用一个控制线圈，当表面出现不规则时，进行一个补偿运动。另外，应用更现代的系统来控制过程气体压力，以便不再有波动影响最终的切削。这些传感器普遍应用于二维坐标，但还没有用于三维坐标的。