轮廓仪给出了光滑和粗糙表面的形貌分析显微镜

轮廓仪给出了光滑和粗糙表面的形貌分析显微镜
干涉光学轮廓仪的其他名称    用于工程表面测量，具有轴向扫描的白光干涉测量技术有不同的分类，而且还可以发现使用了以下一些名称：    白光干涉测量(WLI)    垂直扫描干涉测量(VSI)    低相干干涉测量(LCI)    相干探针  光学相干轮廓测量(OCP)  光学相干显微镜测量  扫描白光干涉测量(SWLI)  白光扫描干涉测量(WLSI)  相干探头显微镜测量(CPM)  相关显微镜测量  相位相关显微镜测量  干涉显微镜  显微干涉测量  宽带干涉测量  全域光学相干断层成像  宽域光学相干断层成像  相干雷达  条纹峰值扫描干涉测量  对于生物标本，同样的测量方法主要叫做光学相干断层成像(OCT)，但也叫做时域光学相干断层成像(TD．OCT)、相干雷达或共焦干涉显微镜。波长扫描干涉仪
    可替代白光和多波长干涉仪的是光谱干涉仪，在较宽的波长范围内，光谱干涉仪利用了光谱干涉条纹。光谱干涉条纹可以通过光源波长的扫描或者利用分光计将白光条纹分散开来得到。
    利用波长扫描的光谱干涉测量所使用的装置基于典型迈克耳逊干涉仪，所不同的是其光源是波长可调谐的。为了找到每一点对应的最佳的聚焦位置，这个系统不需要像在典型的共焦显微镜中进行的逐点轴向机械扫描，或者在白光干涉测量中的轴向场扫描那样。代替这些的是，对光源的波长进行扫描，从而观察到不同频率的条纹，这样被检物体相对于参考反射镜的高度就可以确定了。这种波长扫描轮廓仪给出了光滑和粗糙表面的形貌，