微电子机械面涂层或表面处理技术科研显微镜

微电子机械面涂层或表面处理技术科研显微镜
　　——利用表面涂层或表面处理技术可使一些由于接触经受摩擦和磨损的零件的使用寿命大大延长．依赖于这种方法使用薄膜的技术有内燃机、人工髋关节和膝关节植入物．以及磁数据存储的计算机硬盘．
　　——薄膜材料是许多用作传感器或作动器的微电子机械系统必不可缺的部分例如，沉积在硅膜上的压电或压阻薄膜能被用来电子检测作用于其表面的压力引起的或它支撑的加速度引起的薄膜挠度．基于薄膜技术的器件可用作助听器的麦克风、运动过程中的血压监测器、光学显示系统中柔性支撑上的电子定位薄膜镜面和探测果实成熟度的探头．
　　大量其他技术依赖于薄膜行为．根据前面的举例得到的一个直接观察结果是在这些应用中薄膜组分的主要功能通常不是结构性的．因此，承载能力对设计或材料选择来讲也许不需主要考虑．不过，薄膜组态的加工通常在薄膜中导致足够大的内应力，从而造成机械变形、损伤或失效，即使当承载能力作为功能特征是次重要时．薄膜结构中应力驱使失效的倾向也不利于薄膜与系统的结合．薄膜结构中内应力的存在也可以影响功能器件的电学或磁学性能．