微器件与外部界面尺寸结构对准精度-计量自准直仪

微器件与外部界面尺寸结构对准精度-计量自准直仪

 横向尺度
　　微加工系统具有大约1μm的尺寸：一些器件具有5 μm或10μm结构时即可工作得很好了；而另一些器件需要100 nm结构尺寸时才能具有较好的性能。几乎所有的器件均包含有100 μm尺寸的结构，因为这是微器件与外部世界的界面尺寸：很多器件需要电连接(在引线键合或凸点焊接工艺中)；流体器件必须与毛细管或储液池连接；太阳能电池和功率半导体必须有较厚和较大的金属面积将高电流带出；与光纤的连接需要与光纤差不多的尺寸结构。这些结构的尺寸均大约为100 μm。
　　窄细的线条可以用不同的方法制造，这主要取决于分辨率，也就是分辨相邻两个结构的能力，它定义了器件的分布密度。在讨论微观尺寸时，分辨率很重要，但是在不同光刻工序中，结构间的对准也同样重要。根据一般经验，对准精度是最小线宽的三分之一，与较差的分辨率和较好的对准相比，较高的分辨率但较差的对准，只能获得较低的器件分布密度。