光学测量在测量与被测表面不接触,测量速度快

光学测量在测量与被测表面不接触,测量速度快

    聚焦探测法又称为光学探针法，它类似于机械触针法，将聚焦光束代替金刚石触针，然后利用不同的光学原理，来检测被测表面的形貌相对于聚焦光学系统的微小距离变化。利用聚焦探测原理进行表面形貌测量的方法有多种，根据聚焦误差信号检测方式的不同，主要有傅科刀口法、差分法、光强法、临界角法、像散法及偏心光束法等。
    光学测量法在测量时与被测表面不接触，测量速度快，而且在一定程度上克服了触针法的缺点——避免损伤样品表面。但各类光
学法除各自自身的技术问题之外，存在着一个共性的缺点：横向空间分辨率由于受阿贝衍射极限的限制而只能达到亚微米级水平，对于空间波长接近纳米级的超光滑表面而言这一分辨率是远远不够的