散射测量原理是用光反射特性和表面粗糙度之间相互

散射测量原理是用光反射特性和表面粗糙度之间相互

    散射法的测量原理是利用光反射特性和表面粗糙度之问的相互关系。用实验方法测量工件表面的反射或漫射率作为另一种参量的函数，这些参量有入射角、反射角、检测器的接收角、每个定角的反射率等。光散射理论主要有两种，即标量散射理论和矢量散射理论，对应发展起来了两种典型的光散射计量技术：全积分散射技术(TotaIIntegrated Scattering，TIS)以及角分辨散射技术(Angle Resolved Scattering，ARS)。这两种方法共同的优点就是测量速度快、光路简单、可用于大口径光学表面的粗糙度的测量。光散射法目前所采用的数学模型均建立在假设理论(如相对于入射光的波长，样品表面的幅值高度要尽可能小，表面的空间相干长度要尽可能大)基础之上，而且在数学计算中，为了得到算术解，不得不进行了一些近似，这样就不可避免地给测量结果引入了误差。此外。散射计量技术只能给出被检表面的统计信息，而不能得到被检面的面形图，因此使得光散射法的应用范围比较窄。