制造小尺寸元件微结构技术样品实验显微镜

制造小尺寸元件微结构技术样品实验显微镜
    微结构技术和微结构的基本工艺过程，这些微结构是构建在一个基体上尺寸非常小的独立的机械结构、液压结构、光学结构或部件。事实上，微结构技术不仅对微系统是必需的，如果人们了解微电子学的历史，就会知道由于技术上和经济上的突破发明了晶体管，而晶体管的发明对于技术的进一步发展是一个非常重要的进程，最终导致了微处理器的产生。微处理器上集成了许多独立元件，采用经济、高密度封装技术封装在一个基体上，只有把这些独立元件集成在一起，各独立元件和子系统之间采用复杂的连接技术才能形成一个完整的系统，微处理器能够完成各种智能信号处理任务。上面是对微系统定义的说明，下面给出(微)系统的概念：微系统是一个由许多独立元件组成的装置。    微系统技术同样要求经济地制造小尺寸元件，并将元件智能地集成到系统中去。在过去，微系统技术强调的是微结构技术和微元件的研制；市场方面对微系统的研究和研制强调的是系统的互换性。微元件制造的工艺标准已经制定，遗憾的是，还没有系统研制方面的“准”标准。不过，微系统有比较大的应用潜力，人们期望将微系统应用到那些利用常规方法无法完成的领域。一般来讲，在微电子电路技术基础上再加上集成传感器和微执行元件技术，微系统的性能会大大加强，这样可以大大扩大微系统技术的性能范围，从而使微系统技术有大的应用潜力。    执行元件和传感器同样很重要。他们都可以使用微结构技术来生产，因为它们主要采用微电子学的方法来生产，而且尺寸、功能和生产成本也与微电子元件一致。如同大量元件的智能连接扩展了