电子显微镜研究结构和离子打磨成分的变化

电子显微镜研究结构和离子打磨成分的变化
离子打磨    离子打磨技术是使用惰性气体(如氩气)离子束，以倾斜角度轰击样品使样品表面原子被剥离、，离子束减薄和减薄过程中的半定量处理的原理在许多书中都有介绍。一般来讲，离子轰击是一种非常普遍的过程，有几种使用方法。当使用低能量l～5keV的离子束倾斜射入样品时，剥蚀或溅射速率很慢。这种原子水平上的层层剥蚀广泛应用于表面清洁和去除污染物。用更高的电压、中等强度的离子束可用于对透射电镜样品在合适的速率下减薄。、    基本的结构是要有一个与离子枪连接的扩散泵腔室。离子枪中充满高纯度的惰性气体，如氩气。气体在两个具有高电势差的电极间被加速并被电离。将聚焦和校准的气体离子束对准样品表面。现代电子学可以以几种方式精确操纵离子束。多数离子减薄仪是单光束系统，可对样品的一个面进行减薄。另外也有商品化的双面离子减薄仪，其中可产生在样品的两个面聚焦的两个离子束，使两个面从上至下同时减薄。离子打磨的主要优点是其广泛适厢于任何固体材料。需要了解和监测的主要人工缺陷是离子束产生的损伤。在近表面区域离子束会引起许多变化。有些变化只涉及浅表面的结合和组成的变化，而这些在透射电子显微镜检测中并不是很重要。其他“更深”的能影响透射电子显微镜研究的是结构和成分的变化。采用透射电子显微镜观测时，离子打磨形成的碳纤维上的波纹图案。导致这种变化的确切机制还不是很清楚，但通常认为是离子束导致的不平整